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光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:LBIC
  • 產(chǎn)品時間:2024-05-20
  • 簡要描述:LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)采用振鏡掃描技術(shù),對樣品表面做快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到源表,再顯示
    在軟件界面,用三維圖顯示樣品表面在同一個光強下電流分布,以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布。
  • 產(chǎn)品介紹

LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)采用振鏡掃描技術(shù),對樣品表面做快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號通過探針引到源表,再顯示在軟件界面,用三維圖顯示樣品表面在同一個光強下電流分布,以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布。光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)是用于檢測材料光電流強度分布的專用設(shè)備,主要用來測量光電材料的光電響應(yīng)信號和表征材料的光電特征。光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)將光電材料對于光信號響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來。該系統(tǒng)可以研究光電探測器的量子效率,器件的電阻分布特征,研究太陽能電池光生電流的不均勻性,研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,以及光電材料界面,半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)包含光源(激光器或者連續(xù)光源),顯微鏡,掃描振鏡,數(shù)字源表,探針臺和計算機軟件等。激光通過掃描透鏡,掃描振鏡,成像透鏡,經(jīng)過顯微鏡聚焦到樣品表面,激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流,光電流信號通過探針引出至源表,再通過電腦在軟件中讀出,掃描時振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度,激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動,軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值,在軟件上同步描繪出光電流成像圖,顯示樣品的電流分布。


LBIC光束誘導(dǎo)電流成像測試系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

● 多路激光波長可選 

● 樣品位置二維可調(diào),實現(xiàn)快速換樣 

● 整體探針位置二維可以移動,方便測試樣品的不同位置 

● 樣品在靜止情況下實現(xiàn)mapping掃描,消除電移臺的震動的影響 

● 可視化和人性化軟件(測試區(qū)間位置通過框圖的方式選取,實現(xiàn)了可視范圍即掃描范圍)


應(yīng)用領(lǐng)域 

● 納米材料 

● 二維材料 

● 晶圓分析 

● 探測器光電性能檢測 

● 面陣探測器pixel檢測 

● 器件電荷生成的微區(qū)特性



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