Helios是全自動(dòng)實(shí)時(shí)材料分級(jí)和過(guò)程控制的在線監(jiān)控設(shè)備，
鑒別太陽(yáng)能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕，提高生產(chǎn)效率的同時(shí)降低成本。每條生產(chǎn)線每年提升效益170萬(wàn)美元！
應(yīng)用：
1.進(jìn)料監(jiān)控 通過(guò)少子壽命自動(dòng)對(duì)晶圓定級(jí)
2.過(guò)程控制 監(jiān)控和優(yōu)化關(guān)鍵工序，如擴(kuò)散和鍍膜等
3.損傷鑒別 檢測(cè)電池片成品的破損和微小裂痕
特點(diǎn)：
1. 線上監(jiān)控或線下分析都適用
2. 采用InGaAs探頭提升測(cè)量靈敏度，減少檢測(cè)時(shí)間
3. 采用高靈敏光學(xué)成像技術(shù)，每片晶圓測(cè)試時(shí)間<1s
4. 鑒別并預(yù)防低質(zhì)量材料進(jìn)入高損耗工序，降低成本
5. 采用簡(jiǎn)單明了的圖形界面和是非判定
6. 相比于其他同類PL系統(tǒng)更具性價(jià)比
